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工业超纯水机电子级超纯水系统的应用

发表时间:2013-03-15 16:15:35

  电子超纯水一般工艺流程:

  (水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)

  ●预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水点

  ●预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm微孔过滤器-用水点

  ●预处理-二级反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm微孔过滤器-用水点

  ●预处理-二级反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5μm微孔过滤器-用水点

  应用场合 :

  · 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;

  · 超纯材料和超纯化学试剂;

  · 实验室和中试车间

  · 汽车、家电表面抛光处理;

  · 其他高科技精微产品。

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